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首頁 > 產(chǎn)品中心 > 工業(yè)控制系列 > 超聲波流量計(jì)>MS/MCS型MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品名稱:MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2023-12-22

產(chǎn)品型號:MS/MCS型

產(chǎn)品特點(diǎn):MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計(jì)可精、快速測量腐蝕性氣 體(如:NH3、H2S、SiH4 等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和 溫度。MCS 系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥 還可精控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力??蓽y量 130 多種氣體的質(zhì)量和體積流量,其中包括 32 種腐蝕性氣體。

MS/MCS型MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計(jì)的詳細(xì)資料:

MS/MCS 系列 耐腐蝕質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品介紹:



  MS/MCS 系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術(shù),確保在大流量情況仍然是線性流動,從而 補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。 所有 Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準(zhǔn) 證書。


MS/MCS 系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料,內(nèi)置 130/128 種標(biāo)準(zhǔn)氣體供 選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及 PID 閥門 調(diào)節(jié)。MS/MCS 系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式,另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目 需求,如:用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國)1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS 系 列)質(zhì)量流量計(jì)可選。


為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的首肯,如:半導(dǎo)體行業(yè) 等。多變量測量與控制、多種氣體標(biāo)定以及 100:1 量程可調(diào)比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質(zhì)量流量控制器 便可取代多臺設(shè)備的功效。很高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間很大程度優(yōu) 化了氣體控制過程。 


MS/MCS 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。


可測量 130 多種氣體的質(zhì)量和體積流量,其中包括 32 種腐蝕性氣體。



技術(shù)參數(shù):



0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程


精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 


高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備


精度(雙向流量型號)(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負(fù)滿量程到正滿量程


重復(fù)性: ±0.2% F.S 


零點(diǎn)漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm


工作范圍 / 量程可調(diào)比: 1% ~ 100 F.S / 100:1


很大可測流量: 128% F.S 


典型響應(yīng)時(shí)間 :10 毫秒(可調(diào)整)


啟動預(yù)熱時(shí)間 :< 1 秒


標(biāo)準(zhǔn)工況 (STP): 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換) 


工作溫度: ?10 ~ +50 oC


工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ~ 100 


內(nèi)部很大工作壓力(靜壓) :145 psig 


設(shè)備允許通過的很大瞬時(shí)壓差 (入口壓力-出口壓力): 75 psid 


很限壓力 175 psig 


對安裝方式/方向的要求: 無 


防護(hù)等級: IP40


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